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    技能培训资料:真空计算常用公式.docx

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    技能培训资料:真空计算常用公式.docx

    1、1、玻义尔定律体积V,压强P,PV常数(一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2V2/V1)2、盖吕萨克定律当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:(V1/V2T1/T2常数)当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1,则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。3、查理定律当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T成正比,即:P1/P2T1/T2在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1,它的压强比原来增加(或减少)1/273。4、平均自由程:(510-3)/P (cm)5、抽速:Sdv/dt (升

    2、/秒)或SQ/PQ流量(托升/秒) P压强(托)V体积(升) t时间(秒)6、通导:CQ/(P2-P1) (升/秒)7、真空抽气时间:对于从大气压到1托抽气时间计算式:t8V/S (经验公式)(V为体积,S为抽气速率,通常t在510分钟内选择。)8、维持泵选择:S维S前/109、扩散泵抽速估算:S3D2 (D直径cm)10、罗茨泵的前级抽速:S(0.10.2)S罗(l/s)11、漏率:Q漏V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏系统漏率(mmHgl/s) V系统容积(l)P1真空泵停止时系统中压强(mmHg)P2真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)t压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽

    3、泵的抽速选择:SQ1/P预(l/s)S=2.3Vlg(Pa/P预)/tS机械泵有效抽速 Q1真空系统漏气率(托升/秒)P预需要达到的预真空度(托) V真空系统容积(升)t达到P预时所需要的时间 Pa大气压值(托)13、前级泵抽速选择:排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:PnSgPgS或SgPgs/PnSg前级泵的有效抽速(l/s) Pn主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)Pg真空室最高工作压强(托) S主泵工作时在Pg时的有效

    4、抽速。(l/s)14、扩散泵抽速计算公式:SQ/P(Kn)/(Pt)(升/秒)式中:S被试泵的抽气速率(l/s) n滴管内油柱上升格数(格)t油柱上升n格所需要的时间(秒) P在泵口附近测得的压强(托)K滴管系数(托升/秒) KV0(L/n)(0/m)+PaVtV0滴管和真空胶管的原始容积(升) L滴管刻度部分的长度(mm)n滴管刻度部分的格数(格) 0油的比重(克/厘米3)m汞的比重(克/厘米3) Pa当地大气压强(托)Vt滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)15、旋片真空泵的几何抽速计算公式:SZnLKv(D2-d2)/(24104) (l/s)式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv为容积利用系数(一般取95)。16、O型橡胶槽深B0.7DD为橡胶直径,槽宽C1.6B17、方形橡胶槽深B0.8A


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